大族激光光刻机说明(大族激光微米亚微米级光刻机和纳米级光刻机在加工精度上有巨大差距)

同花顺(300033)金融研究中心5月14日讯,有投资者向大族激光(002008)提问, 请问公司的光刻机和芯片纳米级光刻机的原理一样吗?二者有什么区别?,今天小编就来说说关于大族激光光刻机说明?下面更多详细答案一起来看看吧!

大族激光光刻机说明(大族激光微米亚微米级光刻机和纳米级光刻机在加工精度上有巨大差距)

大族激光光刻机说明

同花顺(300033)金融研究中心5月14日讯,有投资者向大族激光(002008)提问, 请问公司的光刻机和芯片纳米级光刻机的原理一样吗?二者有什么区别?

公司回答表示,尊敬的投资者,您好!微米/亚微米级光刻机和纳米级光刻机在加工精度上有巨大差距,其光源、光路系统、对准系统、工件台以及整体工艺等方面均有着极大的差别,谢谢。

本文源自同花顺金融研究中心

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