集成电路制造步骤有哪些 什么是集成电路

集成电路制造工艺概述

主要分以下几个工序：

前工序

图形转换技术：主要包括光刻、刻蚀等技术；

薄膜制备技术：主要包括外延、氧化、化学气相淀积、物理气相淀积(如溅射、蒸发) 等；

掺杂技术：主要包括扩散和离子注入等技术。

后工序

划片；封装；测试；老化；筛选。

辅助工序

超净厂房技术；超纯水、高纯气体制备技术；光刻掩膜版制备技术；材料准备技术。

75页内容介绍集成电路制造工艺（文末有获取）

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