硅片的生产及应用(大尺寸硅片的生产和制备)
硅片是用量最大的半导体材料,90%以上半导体产品使用硅片制造。随着5G、新能源、AIoT的快速渗透,2021年半导体行业迎来超级景气周期,硅片需求持续旺盛,全球半导体硅片出货面积达142亿平方英寸,同比增长14%,市场规模达140亿美元。
扩产潮来临半导体硅片发展风头正劲半导体硅片是指由硅单晶锭切割而成的薄片,又称硅晶圆片,是半导体、光伏等行业广泛使用的基底材料。硅元素在地壳中占比约为27%,储量丰富并且价格低廉,故成为全球应用最广泛、产量最大的半导体基础材料,目前90%以上的半导体产品使用硅基材料制造。
通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可将其制作成集成电路和各种半导体器件。适用于集成电路行业的半导体硅片对产品质量有极高的要求,纯度必须达到99.9999999% (9个9)以上,最先进的工艺则需要达到99.999999999%(11个9),光伏行业对单晶 硅片的需求是99.9999%(6个9),制备难度远远小于半导体硅片。
半导体产业链可分为半导体材料与设备、半导体制造以及下游应用终端三个环节,具有 投资规模大、技术难度高、产业链长、更新迭代快、终端应用广泛的特点。半导体硅片行业属于产业链的上游,是半导体制造关键性的材料,是半导体行业的基石。下游终端 应用涵盖移动通信、人工智能、汽车电子、物联网、工业电子、大数据等多个行业。
根据硅片尺寸分类,一般以直径区分规格,通常有6英寸、8英寸、12英寸等。从1965年首次生产2英寸硅片到2000年12英寸硅片实现量产,半导体硅片向大尺寸方向不断发展。
为什么做出大尺寸硅片这么难
可能你会感到奇怪,不就是大一点的硅片吗?流程相同,为什么中国能做6英寸硅片却做不出12英寸硅片呢?要回答这个问题,还需要回到硅片的制作流程中来考虑。
硅棒的制作采用CZ直拉法,它需要将多晶硅熔化在石英锅内,再把硅棒从岩浆中拉出来。想要制作12英寸的硅棒,需要一口直径达到32英寸的大锅,并且是一口无比纯净,几乎不含杂质的石英锅,打造这样一口纯净的石英锅,其本身就是一门技术活。
此外,制作的硅棒越粗,锅里的岩浆也要多很多,这对提拉过程中的温度、提拉速度、旋转速度和提拉时间都提出了更高的要求。同时,还需要处理随之而来的一系列问题,例如岩浆对流和温度梯度等物理问题。总而言之,大尺寸硅片需要上游生产与切割设备、下游各式组件及制备技术等各方面的全面配合。
当然还有最关键的——成本。制作大硅片是为了降低生产成本,但更大的硅片往往无法带来更高的生产效率,反而可能增加设备成本与时间成本,这就需要我们在设备和生产等部分降低成本,才有可能吸引厂商建设12英寸的硅片线。
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