化学气相沉积法详解（简介派瑞林CVD化学气相沉积工艺）

派瑞林是一种保护性高聚物材料，派瑞林通过真空气相沉积方法制备。派瑞林涂层具有很好的热性能、化学稳定性，可抵御酸碱、盐雾、霉菌各种腐蚀性气件的侵害，被广泛应用于航空航天、电子工业、医疗器械等方面的表面防护应用。派瑞林涂层被誉为较优秀的三防材料之一，本期小编为您简单分享派瑞林CVD化学气相沉积工艺。

简介派瑞林CVD化学气相沉积工艺

一、派瑞林真空镀膜工艺

常规派瑞林真空镀膜设备，由蒸发室、裂解室、沉积室、低温冷阱和真空泵5部分组成，其工艺方法及过程是，首先通过真空泵获得所需的真空度；然后对蒸发室加热到150℃将放置在蒸发室内的固体派瑞林材料蒸发；接着对裂解室加热到650℃以上，蒸发后通过裂解室的材料被裂解成单体分子；经过裂解的单体分子在25℃左右的沉积室内涂敷到基材表面生成保护性薄膜；对于没有在沉积室内被利用的材料则被低温冷阱表面捕获。

二、派瑞林真空镀膜设备的镀膜应用领域

1、派瑞林真空镀膜设备有效应用于磁性材料领域

派瑞林独特的制备工艺和优异性能相结合，使它能对小型超小型磁材进行无薄弱点全涂敷的磁材可浸盐酸10天以上不腐蚀，目前国际上小型或者超小型磁材，几乎都采用派瑞林镀膜工艺作绝缘和防护涂层。

2、派瑞林真空镀膜设备有效应用于印制电路组件和元器件领域

镀膜材料通过派瑞林真空镀膜设备使得活性地对二甲苯双游离基小分子气在印制电路组件表面沉积聚合完成。气态的小分子能渗透到包括贴装件下面任何一个细小缝隙的基材上沉积，形成分子量约50万的高纯聚合物。

3、派瑞林真空镀膜设备有效应用于微电子集成电路领域

派瑞林的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的派瑞林涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此派瑞林（Parylene）不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经派瑞林（Parylene）涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。

4、派瑞林真空镀膜设备有效应用于微电子机械系统（MEMS）领域

派瑞林（Parylene）能在0.2um厚时就完全没有针孔，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。

5、派瑞林真空镀膜设备有效应用于传感器领域

派瑞林（Parylene）在传感器领域中的应用，除了作绝缘介质外，更多用作防护材料，它能耐酸、碱和有机溶剂，对水汽和盐雾等恶劣环境有极好的阻隔防护能力，用极薄的涂层提供良好的防护。

6、派瑞林真空镀膜设备有效应用于生物医用电子领域

派瑞林不仅电性能，防护性能好，而且生物相溶性也好，它已通过美国FDA论证，满足美国药典生物医用材料VI类标准，被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物医用材料。

7、派瑞林真空镀膜设备有效应用于光纤光缆接头密封件领域

光纤光缆接头在使用中可能遇到各种不同的环境，通常使用含有硅橡胶密封圈的接头使光缆与环境相隔离，经派瑞林涂敷后的硅橡胶密封圈，能更好的适应各种恶劣环境，防止硅橡胶老化，延长密封圈的寿命。

百腾科技（苏州）有限公司是一家新加坡独资企业。为广大客户提供纳米真空镀膜解决方案。派瑞林镀膜技术广泛用于航空航天、电路板、磁性材料、传感器、硅橡胶、密封件、医疗器械、珍贵文物等领域； 欢迎广大客户选购本公司真空涂敷设备及派瑞林原料或来料涂层加工。公司宗旨:为顾客创造价值,为员工创造机会, 为社会创造经济效益！