真空泵工作液温度对真空影响（常用真空计量单位及真空泵选择的注意事项）

真空是真的“空”吗？

大多数人可能认为：真空就是“真的空了”，就是“什么也不存在”。实则否然，即便是目前所能获得的最高真空度（~10-11Pa），每立方厘米中依然残留着大约3000个气体分子（计算条件：温度假定为25℃，真空度假定为1×10-11Pa），这显然与前面的说法是相悖的。真空的含义是指在给定的空间内低于一个标准大气压力的气体状态，是一种物理现象，不是任何东西都没有的虚无空间。

1927年第七次国际计量大会上，给标准大气压做了定义。其定义条件：重力加速度为980.665cm/s2；水银温度为0℃；水银密度13.5951g/cm3。在这种条件下，760mm高的汞柱产生的压力，称为标准大气压。其值：

1atm=1013250.144354dyn/cm2

由此定义标准毫米汞柱（mmHg）值：

1mmHg=(1/760)atm

可见，这种标准大气压，依赖于汞密度的测量精度，不能给出最终值。因而，1954年第十次国际计量大会，又重新定义了标准大气压。其值：

1atm=1013250dyn/cm2=101325N/m2

虽然重新定义了标准大气压，但mmHg仍用1927年定义值。

毫米汞柱这个压力单位书写不方便。因而，为了纪念发现真空的托里拆利（Torricelli），德国把毫米汞柱命名为“托”（Torr）。后来，国际标准化组织使用“Torr”作为压力单位。托值规定为标准大气压（1954年定义）的1/760。即：

1Torr=(1/760) atm

由于1927年与1954年定义的标准大气压值有差别，因而造成1mmHg比1Torr大1.9×10-4dyn/cm2。由于两者差值较小，故通常认为1mmHg近似等于1Torr。

1958年第一次国际真空会议上，正式规定以“托”作为真空度的计量单位。后来，我国也普遍使用这个单位。

国际单位制和我国法定计量单位制中的压力单位，既不使用mmHg，也不使用Torr，而是采用N/m2。

为了纪念17世纪世界著名的法国数学家、物理学家帕斯卡，由法国建议，并经国际计量委员会通过，给N/m2一个专用名词，称为“帕斯卡（Pascal）”，简称为“帕”（Pa）。

1971年第十次国际计量大会正式采用帕斯卡这个压力单位，其值：

1Pa=1N/m2 =7.5006 ×10-3Torr

这个单位由于读和写方便，又能与其他计量单位统一起来，因而，逐渐被各国使用。

国际单位制中，压力单位还使用巴（bar）和标准大气压（atm），二者与Pa的关系如下：

1bar=105Pa

或者

1atm=1.01325×105Pa

工程应用上也常将1atm值近似取为1×105Pa。

真空设备制造中，当使用压力高于100Pa，有时采用百分真空度表示压力，即

δ=[（105-p）/105]×100%

式中

δ——真空度的百分数；

p——真空设备中气体压力，Pa。

我国法定计量单位制规定的压力单位为帕（Pa），吉帕（1GPa=109Pa），兆帕（1MPa=106Pa）,千帕（1kPa=103Pa），毫帕（1mPa=10-3Pa），微帕（1μPa=10-6Pa）。真空技术领域中，真空度的计量单位为Pa。

目前国际上，真空度的计量单位各国不同，常用单位有帕（Pa），巴（bar），毫巴（mbar），托（Torr），毫米汞柱（mmHg）。各种单位的换算关系如下：

看完以上的内容，相信您对真空计量单位已经有了一定的了解，这些单位用于衡量既定空间的真空度，而为了达到特定的真空度，需要旋片泵、罗茨泵、分子泵、离子泵等真空泵获得设备，那么该如何选取真空泵呢？需要注意以下几点：

• 真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。选型时真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
• 考虑真空设备工艺过程中产生的气体量全部排出时间要求，衡量真空泵在带有负载的前提下的抽气速率。
• 充分考虑所抽介质的成分和特性，针对性的选择真空泵的类型，也可考虑多种泵组合起来地方式。
• 考虑真空泵在工作过程中自身振动以及排出气体对于整个工艺过程以及周边工作环境的影响。
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