显微镜平台调节原理（数字显微镜的基本控制原理简析）

数字微镜器件本质上是一组阵列式光开关器件，是在CMOS集成电路衬底上（地址电路）加工制造的MEMS器件。每一个CMOS单元对应控制一个可动的微镜，即对应一个像素。

跷跷板型微镜的基本结构为：衬底为CMOS电路，控制微镜偏转和方向选择的地址电极由通孔与其下的CMOS电路连接在一起，一个柔性可扭转的铰链与轭连接系统支撑着微镜，微镜下左右对应两个地址电极。在左、右地址电极电压与微镜上施加的调制偏置电压的共同控制驱动下，微镜发生左右转动，当与着陆电极接触时，就构成了个稳定的状态。改变其相对电压的大小和极性就可以改变其偏转方向，微镜因此具有双稳态特性。在系统电路控制下，微镜就像跷跷板一样起起伏伏，控制光的反射方向，对应开与关的状态。微镜最大旋转角度为10或12度，定义 10度的位置为光的“开”，即亮的状态，定义-10度为光的“关”。所以，跷跷板型微镜也是数字微镜开关器件。