国产光刻机崛起全力追赶asml（美国要求荷兰对华禁售ASML光刻机）

（图片来源：Dreamstime）

为了遏制中国发展芯片产业，美国开始胁迫全球光刻机巨头阿斯麦公司（ASML）对华禁售产品。

钛媒体App 7月7日消息，据环球时报引述媒体报道称，美国官员正在游说荷兰当局，在禁止向中国出售最先进的极紫外线光刻机（EUV）基础上，进一步将禁售范围扩大到上一代技术深紫外线浸没式（ArFi）DUV光刻机的出口。

报道称，由于无法获得荷兰政府的出口许可，ASML已经无法向中国出口其最先进、每台售价约1.6亿欧元的EUV光刻机。而美国此次针对的这些旧款DUV光刻机，可生产7nm及以上制程工艺芯片，是制造汽车、手机、计算机乃至机器人所需的某些非先进芯片的最常用设备，在目前全球芯片短缺之际必不可少。如果美国胁迫成功，中芯国际和华虹半导体等中国芯片制造商可能会因此受到沉重打击。

对此，7月6日例行记者会上，中国外交部发言人赵立坚表示，这是美方滥用国家力量，倚仗技术霸权搞“胁迫外交”的又一例证，这也是典型的技术恐怖主义。在当前全球化背景下，对别国搞技术封锁、技术脱钩，这只会让其他国家更加警醒，在技术上一味依靠美国行不通，也会促使各国加快实现科技自主自立自强。

受此消息影响，ASML的美国存托凭证（ADR）跌幅高达8.3%，为2020年3月以来最大盘中跌幅。但与此同时，限制进口光刻机利好国产替代，周三相关半导体设备股出现大涨，拓荆科技 (Piotech)、沈阳芯源 (Kingsemi）涨幅超10%，中微公司、北方华创带领沪深300大涨，科创50 (STAR50）指数则上涨了2.3%。

截止发稿前，由于市场传出美国考虑对中国半导体征税，7月7日开盘，A股半导体板块普跌，瑞芯微、大港股份、盛美上海跌5%，东微半导、易天股份、博通集成跌4%，斯达半导、中晶科技跌3%。

光刻机巨头已成为半个美国公司

今年4月20日，荷兰ASML公司发布财报，2022年第一季度光刻机净销售额达35.34亿欧元。其中，中国大陆市场的营收占比达到34%，超过12亿欧元。

而这么亮眼的业绩，主要归功于EUV光刻机的贡献。公司CFO Roger Dassen此前接受采访，当被问及美国半导体禁令对ASML业务有什么影响时，他表示，尽管美国对华禁售EUV光刻机，但ASML可以直接向中国出口DUV光刻机，无需美国的授权。

众所周知，目前主流的光刻机主要有两种：一种是极紫外线EUV光刻机，用于7nm及以下的芯片光刻；另外一种是DUV光刻机，称之为深紫外线光刻机，主要用于10－130nm光刻机，只有ASML能生产。

DUV光刻机又有两大路线，其中一种就是ASML为代表的浸润式光刻机，以水为介质，采用193nm波长的光线，在水中折射后，变成132nm，而这种设备一次曝光可以生产45-28nm的芯片，价格比EUV便宜一半。

尽管DUV光刻机不是最先进的，但在多重曝光的情况下，最高也能做到10nm制程，由于无需获得美国出口许可证，相关产品一直正常给长江存储，上海华虹等厂商供货。

所以，一旦美国推动ASML禁止对中国企业出售DUV光刻机，意味着芯片代工厂的扩产之下无法获得设备，包括部分车规级芯片及消费电子芯片，都将面临受制于人的命运。同时，这也意味着美国对中国芯片产业的全面围堵已经展开。

实际上，企业都是以盈利为目的。媒体分析称，如果ASML被禁止对华出口DUV，其收入可能会萎缩5%-10%。

那么，为什么ASML这样一家光刻机巨头企业，减少要屈服于美国的管制？根据中国科学院ICAC，背后主要有三个原因：

1、美国在DUV、EUV技术方面渗入ASML。1997年，ASML加入英特尔和美国政府牵头成立的EUV LLC联盟当中。该联盟汇聚了美国顶尖的研究资源和芯片巨头，包括IBM、AMD、摩托罗拉等，集中数百位顶尖科学家，共同研究EUV光刻技术。随后在2007年起，ASML陆续收购美国Brion、Cymer、HMI等公司，增强了在光刻、光源、电子束检测等方面的技术储备，从而能够开展EUV技术攻克。

2、美国通过ASML的上市公司身份入股。随着其在DUV时代取得成功，英特尔入股ASML叠加并购加速，2012年，英特尔、三星、台积电共同买入ASML 23%的股权，获得了ASML EUV光刻机的优先供货权，成为了利益共同体。目前ASML的前三大股东均来自美国，合计掌握ASML近30%的股权，美国加速实现对ASML的资本和技术双控制。

ASML光刻机上下游产业链（来源：方正证券）

3、ASML的EUV设备零部件受控于美国。截止2020年末，ASML的EUV中有90%零部件来自进口，而且根据ASML加入EUV LLC的承诺，美国零部件需占比55%以上，并接受定期审查。

所以这就是美国为什么能让荷兰对华禁售DUV、EUV光刻机的主要原因——ASML的EUV光刻机的实际控制方是美国而非荷兰。因此，ASML也被行业称为“半个美国公司”。

实际上，美国要求荷兰ASML禁止出售光刻机给中国芯片制造企业，始于前任总统特朗普时期。

2018年开始，美国就对荷兰进行游说，并展开强大攻势，以阻挠荷兰将芯片制造技术出售给中国。时任美国总统副国家安全事务助理还对荷兰警告称，如果没有美国的零部件，ASML的设备就无法运转，而美国白宫有权限制这些零部件向荷兰出口。不久后，荷兰就决定ASML的出口许可证不予续期，而之前计划好向中芯国际出口的一台价值1.5亿美元的光刻机，至今也没有发货。

今年5月底至6月初，美国商务部副部长唐·格雷夫斯在访问荷兰和比利时期间讨论供应链问题时提出禁止对中国企业销售DUV光刻机的要求。其间，唐·格雷夫斯还到访了ASML位于荷兰总部并会见了公司CEO彼得·温宁克。

不过，此前温宁克曾表明过态度：反对禁止向中国出口DUV光刻机。

报道还称，美国也在努力向日本施压，要求ASML对手——日本尼康等企业停止向中国芯片制造企业交付光刻技术。

针对上述消息，美国商务部与荷兰外交部均表示拒绝发表任何评论，ASML和尼康两家公司也都没有做出实质性的回应。

根据ASML计划，2022年该公司有望生产55台EUV光刻设备，到2023年达到每年超过60台，有望供应给英特尔、三星、台积电等企业。

国产替代影响几何？

2021年，全球半导体行业总销售额达5500亿美元。其中，作为全球最大、发展最快的芯片半导体销售市场，彭博数据显示，过去4个季度，每个季度增长最快的20家芯片产业公司中，平均有19家来自中国大陆。

在现代中美科技竞争背景下，“国产替代”已成为中国半导体产业发展的象征。

“中国半导体股背后的逻辑，一直是国产替代进口的设备和芯片，”杭州希言资产管理基金经理石军波接受媒体采访时表示，即使技术可能不那么先进，国内半导体企业依然在被美国迫使下发展，从而获得更大的市场份额。

光刻机被称作“半导体工业皇冠上的明珠”，与航空发动机并列，是人类工业难度极限。而想要保证光刻机良好运转，每个环节的成功率都要高达99.99%，这是工程学上的巨大挑战。

温宁克曾表示，如果想打破ASML等国外企业制定的技术规则和垄断优势，中国需要集体参与精密零部件的供应开发。他认为中国目前不太可能独立掌握顶级光刻技术。

对于国产光刻产业链，首先关注华为的投资布局。天眼查数据显示，继2021年6月，华为旗下的哈勃投资公司入股中科院微电子所控股、国内第一的193nm ArF准分子激光器光源系统企业“北京科益虹源”之后，今年4月，华为哈勃再度投资光源相关产业，入股光电模块零部件公司“微源光子（深圳）科技”。

其次是企业的业绩。7月5日，国内刻蚀设备（光刻下游，溶解光刻胶部分金属）厂商中微公司（688012.SH）发布2022年中报预告，公司预计今年二季度营收19.7亿元，同比增长47.1%。其中新增订单下，营收同比增长62%至30.6亿元。中微公司董事长尹志尧透露，公司研发的等离子刻蚀设备已经进入客户5nm生产线。该公司预计上半年扣非归母净利润大增630%。

最后是未来国产光刻行业的发展评估。方正证券发布研报称，光刻机作为前道工艺七大设备之首（光刻机、刻蚀机、镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备），价值含量极大，技术要求极高，在制造设备投资额中单项占比高达23%。而目前，全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能所垄断，当前实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义。

“国产光刻机应从如下四个方面寻求突破，包括产业分工、科研投入、技术突破以及人才积累。”方正证券在报告中称，对于国内关注产业链，主要关注以下两部分：

一是关注光刻机核心组件，包括负责整体集成的上海微电子、负责光源系统的科益虹源，负责物镜系统的国望光学，负责曝光光学系统的国科精密，负责双工作台的华卓精科，负责浸没系统的启尔机电等；二是关注光刻配套设施发展，包括光刻胶，光刻气体，光掩模版，光刻机缺陷检测设备，涂胶显影设备等。

（本文首发钛媒体App，作者｜林志佳）