氩气在icp中有哪几个功能（氩气的制备方法有哪些）

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氩气的制备方法

空气分离和氩气提取

低温空气分离的主要产品是纯氧和纯氮，其副产品是氩气生产的主要来源。氩气馏分（含8%～12%Ar）从空气分离装置的蒸馏塔中提取，其中含有氧气、氮气和其他组分。氩生产工艺包括常规氩生产和全蒸馏氩生产，而纯氩生产主要用于去除氩馏分中的氧、氮、氢和其他杂质。合成氨尾气提取氩气合成氨尾气由其吹扫气体和氨罐尾气组成，其中包括60%~70%的H2、20%~25%的N2、3%~8%的Ar、8%~12%的CH4和约3%的NH3。

从合成氨废气中提取氩气

有低温蒸馏过程和冷凝蒸发过程。典型的工艺有三塔氩提取法、双塔氩提取法和带热泵的循环氩提取装置。其生产过程包括原料气净化、脱水、脱甲烷和脱氮四个步骤。