精密光学测量（光学产品面精度）

今天我们来说说表面精度

面精度由最高点和最低点的"高低差"表示。

通常，西格玛光学机的抛光产品使用面精度表示法来表明产品的表面平整度。

面精度有两种类型：反射波面精度和透射波面精度，西格玛光机产品目录中显示的面精度为反射波面精度。

反射波面精度(以下简称 "面精度")是指在整个有效范围的表面上看，最高点(峰)与最低点(谷)之差，称为PV值(简称PV值)。

这个高度差用激光干涉仪光源的波长 "λ "表示为 "λ/4 "或 "λ/20"，用于表示面精度。

例如，西格玛光机目录中的面精度为λ/10，表明有效范围内的高度差在63.2nm以内。

这是因为激光干涉仪使用波长为632.8纳米的He-Ne激光作为光源。当使用PV值表示λ/10时，该值为0.1。

举个例子，假设有一块面精度为λ/10，直径为100mm的平面基板（对应于Sigma Optics的标准产品OFPXP-100C15-10），面精度测试波长为632.8nm（He-Ne）。

那么，把这个平面基板想象为直径100米的场地，那么它的表面上最高和最低点的差别为也仅仅为63um，也就是一张纸的厚度。

利用"牛顿环"计算面精度

通常，我们都使用干涉的方法来测量面精度。这是因为基板表面的高低差太小的缘故。

一个简单的方法是将光学平板与样品进行比较。

测量时看到的条纹称为牛顿环，根据条纹和条纹的距离和条纹的弯曲来计算面精度。

计算公式如下所示：

面精度 = 测量波长 / 2 x 干涉条纹的弯曲量/条纹和条纹之间的距离

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