苏州智能浸渗设备产品介绍（青浦这家企业成功研发生产线上专用高端MPCVD设备）

岁末年初，喜讯传来。坐落于青浦区华科路的上海铂世光半导体科技有限公司实现了高端装备领域重大技术突破，公司自主研发生产的生产线上专用MPCVD（微波等离子化学气相沉积技术）设备正式下线并投入使用，标志着铂世光成为国内首家打破欧美技术垄断的企业。

MPCVD微波等离子化学气相沉积技术，是通过微波激发反应气体成等离子体状态，提高化学反应速率，降低反应温度，可以在很大的真空范围内形成稳定的球形等离子体，最大限度地减少了因气流、气压、气体成分、电压等因素波动引起的等离子体状态的变化，从而确保单晶材料生长的持续性，为合成高质量的大尺寸单晶金刚石提供有力保证。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。

MPCVD技术是目前国内外制备单晶金刚石应用最广泛的方法。因其能够制备大面积、高质量的金刚石，而且安全系数高、制备过程无污染，MPCVD技术被认为是未来制备人造金刚石最理想的方法。MPCVD技术目前在国外已经得到了很好的应用，市场上的主流公司包括Element 6，IIa Technologies、Diamond Foundry等，都在使用MPCVD法工业化生产单晶金刚石。然而，由于工业化生产单晶金刚石所需要的MPCVD设备对设备性能要求高，开发难度大，尤其是生产线批量生产单晶金刚石所用的多台套MPCVD设备之间的控制和稳定性要求极高，导致国内涉足这一领域的厂家并不多，再加上其技术研发成本和设备制造的投资较大，目前国内市场还处于被欧美日厂商垄断的状态。

经历了漫长的科研过程，铂世光终于赶在2020年末实现了国内MPCVD设备在这一领域零的突破。这是铂世光公司的巨大成功，也是国内MPCVD技术迈向新高度的一大步。这一突破不仅是青浦地区近年来科技实力不断攀升的真实写照，更是为青浦带来了一大批新的就业机会，为地区的持续发展带来了源源不断的活力。

作为新世纪的超级材料，金刚石应用广泛，不仅在切削加工领域拥有“工业牙齿”的美誉，航空航天、国防军工、5G半导体、医疗等众多领域均不乏它的身影。铂世光的突破为国内金刚石的应用研究打下了坚实基础，也在“科技强国”的道路上留下了浓墨重彩的一笔！

记者：魏阜龙

资料：青浦工业园区

实习编辑：孙旌豪

责编：吴怡静