igbt与mosfet及gtr间的关系(什么是RC-IGBT)

该内容转载自耿博士电力电子技术

今天聊一下逆导型IGBT(reverse conducting IGBT,RC-IGBT),很久以前就知道这个器件,但是感觉应用很少,所以也没太进一步去了解。最近没事看论文发现富士近几年已经把RC-IGBT作为重点器件在电动汽车领域进行了推广应用,所以个人感觉有必要花点时间来聊一下这个器件,没准在电动汽车领域RC-IGBT和SiC MOSFE模块一样,也代表着一个重要的发展方向......

igbt与mosfet及gtr间的关系(什么是RC-IGBT)(1)

什么是RC-IGBT

逆导型IGBT,逆向导通?有些小伙伴可能会问,IGBT本来不就是反向导通的吗?为什么还专门起这样一个名词。这里面大家可能存在一个误区,通常来讲IGBT只是一个泛称,因为大部分工业应用都是感性负载,都需要在IGBT芯片旁边反并联一个二极管芯片,因此一般都认为IGBT肯定是反向导通的。但是严格来讲IGBT就是IGBT,不像MOSFET内部有体二极管,而且IGBT属于非对称器件,非对称意味着正反向耐压是不一样的。这时你可能会问既然有非对称器件,那肯定有对称的。是的,还真有,AB Rockwell公司的Power Flex7000中压电流型逆变器采用的就是对称性门极环流晶闸管(Symmetrical Gate Commutated Thyristor, SGCT),SGCT的正反向的阻断电压是一样的。Baliga的著作“Fundamentals of power devices ”9.1节上也讲到了对称型IGBT,感兴趣的小伙伴可以去了解一下....

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有点扯远了,回过头来继续聊我们的RC-IGBT,简单来讲 RC-IGBT是将IGBT和Diode做在一个芯片里面了,如下图所示:

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为了略显专业,老耿感觉还是有必要对着IGBT、DIODE和RC-IGBT的内部结构图说一说。有些小伙伴可能还不太会看此类图片,其实也不太复杂,简单来讲功率器件就是把不同掺杂浓度的P型半导体和N型半导体组合拼凑出来的。下图为英飞凌提供的RC-IGBT图片,老耿增加了一些注释,不同的颜色代表掺杂浓度不同,颜色越深,掺杂浓度越高,字母后面 符号代表掺杂浓度高(重掺杂),-符号代表掺杂浓度低(轻掺杂)

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了解到这个程度,给不懂器件的人吹吹牛应该还是可以的。回头来让我们先看一下FWD结构,它由P 、N-、N 3层半导体组成,这种结构的二极管也叫PiN二极管,i是英文单词Intrinsic的缩写,代表本征的意思,说明中间的N-半导体掺杂浓度很低,类似本征。关于PiN结构更详细的介绍可以参考老耿以前的文章。

什么是PiN二极管?

IGBT相比FWD就复杂多了,上图中沟槽栅场终止型IGBT结构图从上至下由N 、P 、N-、N 、P 5层不同掺杂浓度的半导体组成。如果把两者结合起来,在IGBT底部P 层预留一部分做成N ,就变成了RC-IGBT。下面再来欣赏一下富士提供的更为直观的三维结构图。

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看到这里相信大家应该都明白RC-IGBT与普通IGBT的区别了,关于RC-IGBT更深入的工作原理,老耿就不做介绍了,下面我们再来看看RC-IGBT有哪些优势。。。

RC-IGBT优势

优势1:减小芯片尺寸降低成本

IGBT芯片或FWD 芯片主要包含终端区和元胞区,当两个器件合并为一个芯片时终端部分可以实现共用,因此可以减小终端部分的面积。

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通常情况下,传统模块中 IGBT 与 FWD 的面积比一般约为 2:1,RC-IGBT 可在保持传统 IGBT 芯片面积基本一致(略有增大)的条件下,通过在芯片内部集成 FWD,从而省掉 FWD 部分的芯片面积,故可以节省总芯片面积约 1/3[1],同时芯片数量少了,还节省了焊接芯片和键合绑定线的成本,可大幅降低芯片生产制造成本及封装测试成本。类似下图,半桥IGBT模块需要4个芯片(2个IGBT 2个FWD),而如果采用RC IGBT芯片2个就够了。.

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优势2:降低热阻

我们都知道对于普通的IGBT模块来讲,规格书上都会单独给出IGBT芯片和diode芯片至基板的热阻。而对于芯片来讲,面积越大热阻越小,越利于散热。前面已经提到RC-igbt虽然能够节省总的芯片面积,但是对于二极管的有效面积约扩大一倍,因此可有效降低二极管的热阻,并大幅提高其抗浪涌电流的能力(I2t耐量),而对于IGBT来说也能一定程度上降低热阻,下图为富士公开的一个报告上给出的参数,IGBT可以降低12%的热阻,Diode可以降低40%的热阻

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热阻越小,越利于器件撒热,如果系统只有IGBT芯片或diode芯片工作时的器件的结温肯定会有所降低。但是当IGBT和FWD都工作时,由于IGBT和FWD之间存在热干涉,总的温度比传统的模块可能会有所上升,毕竟两个器件的损耗在一个芯片上,当然这里也要看RC-IGBT芯片开关特性。

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优势3:降低结温波动

从使用工况的角度看,RC-IGBT的改进了传统模块中 IGBT 芯片与 FWD 芯片间歇工作导致结温波动大的缺点,大幅提高器件的功率循环能力。我们都知道逆变器输出频率越低,IGBT结温波动也就更加剧烈,尤其是在堵转工况下这一现象更为严重。而RC-IGBT由于 IGBT 和二极管集成在一个芯片上,其交替工作时产生的热量形成一个合成的热源,散热途径一致,能够大幅降低芯片的结温波动,提升器件可靠性。

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RC-IGBT问题

看到这里你可能会问既然RC-IGBT有这么多优势,那为什么还没有大规模应用?让我们再来看看RC-IGBT存在的一些问题。RC-IGBT最常见的问题是正向输出特性中的 Snap-back(回跳)现象,如下图所示[2]。在RC-IGBT 导通初期,电流密度很小,VCE较大,但当 VCE增加到大于某值后,VCE会出现较大幅度下降,而电流密度继续增加的现象,在 I-V 曲线上表现为负阻特性。Snap-back现象不利于器件的并联使用,也会影响轻载条件下的功耗

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但富士在内部期刊的一篇文章“第7代“X 系列”产业用RC-IGBT模块”[4]已经明确说明针对这一问题进行了芯片结构优化,消除了回跳现象,如下图所示:

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除了以上问题之外,RC-IGBT还有一些其它问题,例如参考文献[1]中提到的RC-IGBT 关断及二极管反向恢复的动态波形优化、器件纵向漂移区载流子浓度分布优化、器件横向载流子密度及电场分布均匀性优化、器件的特殊背面加工工艺及器件三维仿真等问题。

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