光刻机是什么意思(光刻机的作用)

光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上,我来为大家科普一下关于光刻机是什么意思?以下内容希望对你有帮助!

光刻机是什么意思(光刻机的作用)

光刻机是什么意思

光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

生产集成电路的简要步骤:利用模版去除晶圆表面的保护膜。将晶圆浸泡在腐化剂中,失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质。

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