螺杆式真空泵应用（干式螺杆真空泵的应用范围及应用特点）

干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵，在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵。

干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。

干式螺杆真空泵出现于上世纪90年代初，由于它具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点，因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。

1.在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。

2.在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得，能够抽除普通空气，易燃易爆气体和腐蚀性气体，尤其能满足对获得清洁真空要求高的环境。

3.石油化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取，高效回收溶剂，可大量抽除可凝性气体，或腐蚀性气体、有毒气体、含微尘的气体。

4.在脂肪酸生产中，用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物。

5.医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂。

6.食品工业中用于香料、香精浓缩、食品包装等。

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干式螺杆真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠且寿命长，操作维护方便；

由于采用变螺距结构，比等螺距螺杆可节省30%能耗，排气温度较低；

干式螺杆真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行，噪声低；

具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响；

由于干式螺杆真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体，微小颗粒不容易堆积，泵腔内的剩余物也容易被清除。

干式螺杆泵的技术含量高，适合用在高纯净的真空工艺过程，其真空度极高，适应恶劣工况的能力强。不同于其他类型的真空泵对含颗粒物的气体较为敏感，干式螺杆泵可抽除可凝性和含颗粒物的气体，且易做防腐处理。

相比于其他的传统真空泵，干式螺杆真空泵更适合现在的新兴行业，如半导体、生物医药、电子、核能等。

螺杆真空泵背压：螺杆真空泵通常的排气压力是大气压，在配用电机功率不变的情况下最大允许背压到0.3barg。如果螺杆真空泵在高背压下运行，会造成抽速下降、极限真空变差、排气温度过高等问题。

进气温度：螺杆真空泵进气温度15℃～60℃，在此温度范围内泵可连续长期工作；进气温度超出此范围则需采取必要措施。

冷却水温度：冷却水是在冷却水温度为20℃下的流量，冷却水最高的允许温度为32℃，但必须适当加大冷却水流量。

处理液体和固体的能力：螺杆真空泵的被抽气体可以夹带一定量的液体和微小颗粒。

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