三叶罗茨风机工作原理(罗茨真空泵的工作原理)

今天给大家介绍一下VPSA工艺中比较重要的罗茨真空泵,其工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触,间隙一般为0.1~0.8毫米;不需要用油润滑转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等渐开线转子泵的容积利用率高,加工精度易于保证,故转子型线多用渐开线型罗茨真空泵的转速可高达3450~4100转/分;抽气速率为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×102帕,双级为1×103帕,我来为大家科普一下关于三叶罗茨风机工作原理?下面希望有你要的答案,我们一起来看看吧!

三叶罗茨风机工作原理(罗茨真空泵的工作原理)

三叶罗茨风机工作原理

今天给大家介绍一下VPSA工艺中比较重要的罗茨真空泵,其工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触,间隙一般为0.1~0.8毫米;不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高,加工精度易于保证,故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450~4100转/分;抽气速率为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×102帕,双级为1×103帕。

罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。

罗茨真空泵在VPSA工艺中扮演者很重要的角色,它负责把附着在分子筛上面的氮气解吸出来,才能够使得分子筛继续工作。

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